半導体製造関連機器

半導体プロセス装置

アクアサイエンス 超高濃度オゾン水併用HDIレジスト剥離装置: Aurora
蒸気水レジスト・ポリマー剥離装置: Triton
セントロサームサーマルソリューションズ 高温活性化アニール炉 "Activator150"
真空はんだ付装置 "VLOシリーズ"
高温酸化炉 "Oxidator150"
大量生産向け複合加熱炉 "verticoo200"
谷電機工業株式会社 ウエハバンプ形成用印刷装置
ピーブイエーテプラ プラズマシステム/Plasma system
バッチプロセスシステム/Batch process system

半導体評価装置

センテック インスツルメンツ 光干渉式膜厚計
レーザーエリプソメーター
分光エリプソメーター
セラドン システムズ X線観察装置
インラインX線検査装置
ピーブイエーテプラ [SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization)

温度環境試験装置

インテストサーマルソリューションズ 超高速温度環境試験機サーモストリーム: Temptronic
恒温槽: Sigma system
温調プレート: Sigma systems
接触型温度環境試験装置: Temptronic
プロセスチラー: Thermonics

パワーデバイス用Sintering装置

谷電機工業株式会社 卓上機 HTM-1000
標準機 HTM-3000
量産機 HTM-HV(量産機、少量多品種機)

故障・歩留まり解析

デントンバキューム Infinity FA system:Ion Beam Delayering装置