世界各国に豊富な納入実績
エリプソメーター・光干渉式膜厚計を取り扱うドイツのメーカーです。
エリプソメーター・光干渉式膜厚計を取り扱うドイツのメーカーです。
製品ラインナップ
分光エリプソメータ
- SENresearch 4.0ファミリー
DUV-VIS-NIR 分光エリプソメータ
研究開発の分野に求められるさまざまな目的に応じた任意の装置仕様をデザインできます。
- 1広範囲スペクトル測定を一台のユニットで対応
- 190nm to 3500nm,
- 2Best NIR option available
- 任意の測定分解能により目的に応じた分析が可能
- 独自開発のFTIR搭載
- CCD アレーセンサーレベルの高速測定
- 3Fast Step Scan Analyzer
- 回転検光子が段階的な回転で測定時は停止状態で測定
- 連続的な回転による駆動部からのノイズを削除
- 革新的な2C（補償子）によるフル15ミューラー行列測定に対応
- 4ピラミッドゴニオメータ
- 新デザイン 入射、反射アーム独立駆動 オプティカルセンサー
- 5SpectraRay/4
- 豊富な材料ライブラリー、あらゆる材料分析に対応する分散モデル
- In-situ測定対応
- SENpro（費用効率に優れたモデル）
- マニュアルゴニオメーター搭載（40-90°5°ステップ）
- 測定スペクトル：370nm～1050nm
- 専用ソフトSpectraRay/4、並びにStep Scan Analyzer による測定解析手法はエリプソメトリによる解析を最適なものと致します。
- SENDIRA（赤外分光エリプソメーター）
- 赤外スペクトラム領域での薄膜フィルム材料の膜厚、屈折率測定はもとより、材料固有の分子振動の吸収バンド領域よりの吸収係数、薄膜材料組成比、構造分析、キャリア濃度分布等も可能。
- 赤外FTIR測定機能との合体で、400 cm-1 to 6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)領域の分析が可能、センサーはDTGS、 MCTの切替が可能。
- SENDURO MEMS
- 自動搬送、Autoアライメント機能が選択可
- 100～300㎜ウェハー対応
- 最少測定エリア50μm（干渉計搭載時）
- 多点測定マッピング機能
レーザーエリプソメーター
- SE400adv、SE500adv
- 632.7nm He-Neレーザーを採用
- 測定時間：120nm～1.5S
- 膜厚測定範囲：表面平坦時1nm～40,000nm
- 測定精度：表面平坦時Ψ/0.02°、Δ/0.04°
- 再現性（１σ）：平面平坦時 膜厚/0.01nm、屈折率/0.0005
- マニュアルゴニオメーター：範囲：40-90°、5°step
- 干渉計FTP搭載（SE500advのみ）
光干渉計膜厚
- RM 1000 430 nm – 930 nm
- RM 2000 200 nm – 930 nm
- サンプル高さ、傾き調整機能付き
- 測定スポット：最少50μm～
- 微小サンプル-200㎜ウェハー
- 膜厚レンジ：20nm～50μm
- FTPadv-1（顕微鏡搭載型）
- FTPadv-2
- 測定スポット：4㎜～
- 測定時間：100ms以内
- 測定分解能：0.3nm（膜厚）
- FTPadv Expert
- 膜厚及び光学定数（屈折率、吸収係数）の測定用ソフトウェアーパッケージ
太陽電池用セル基板対応モデル
- SE400advPV（レーザーエリプソメーター）
- SE800advPV（分光エリプソメーター）
- 業界標準器として市場に400台以上の実績
- 単結晶、多結晶基板PVセルに於いてテクスチャー構造上のARC膜の膜厚、屈折率測定が可能
- 高感度センサーにより、極めて低いノイズ比率でのスペクトル分析を実現。
- 多層膜にも対応、測定事例 SiO2 / SiNx, Al2O3 / SiNx ,SiNx1 / SiNx2
SENTECH Instruments GmbH (センテック インスツルメンツ)の概要
センテック社ドイツ
センテック社は、膜厚計 (光干渉式、レーザーエリプソメーター、分光エリプソメーター) を取り扱っているメーカーです。特に太陽電池市場においては、テクスチャー形成表面上の膜厚測定を可能にし、世界各国に計160台以上の納入実績がございます。
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受付時間 平日 9:00～17:30（土・日・祝日・当社指定休業日除く）