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化合物半導体関連機器

化合物半導体関連機器

アイピージー フォトニクス IX-200: 研究開発向け小型機
IX-6600: 量産向け大型機(ウエハ自動搬送搭載可)
PV-5000: PV向けスクライビング装置
ビームデリバリー・光学部品
ジョブショップサービス
ストラクチャード・マテリアルズ・インダストリーズ 酸化物用結晶膜成長 (CVD) 装置
(ZnO,Ga2O3 他)
ディーエスジー マイクロ波アニール装置 AXOM150/300 (バッチタイプ装置)

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コンポーネント・材料

インパクト インジウム-リン (InP) 基板
インジウム-リン (InP) エピタキシャル基板
サンゴバン (ルミログ) 窒化ガリウム (GaN) 自立基板
半絶縁性 窒化ガリウム (GaN) 基板
窒化ガリウム (GaN) テンプレート

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MOCVDシステム

ビーコ・インスツルメンツ・インク TurboDisc MaxBright MHP GaN MOCVD マルチリアクター システム
TurboDisc MaxBright M GaN MOCVD マルチリアクター システム
TurboDisc K475 As/P MOCVD システム
TurboDisc K465i HP GaN MOCVD システム
TurboDisc K465i GaN MOCVD システム
TurboDisc K465 GaN MOCVD システム
TurboDisc E475 As/P MOCVD システム

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