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ナノテクノロジー関連機器

電子ビーム描画装置

レイス 研究開発用電子ビーム描画装置
高解像度電子線描画装置

イオンビーム装置

伯東 (エヌ・エス) イオンビームミリング装置
デントンバキューム Infinity FA system:Ion Beam Delayering装置