製品ラインナップ
- CLS12
- CLS12はRIBER社ラインナップで最も小さいく、省スペース型、低コストを基本コンセプトをした学術研究向けMBE装置です。
- 2インチ基板に対応、最大6本までの蒸着源が搭載可能です。
- Compact21
- Compact21シリーズは、ワールドワイドで130台以上の納入実績があるRIBER社ベストセラー研究開発装置です。
- 3インチ基板に対応、最大12本までの蒸着源が搭載可能です。
- III-V族のみならず、SiGeやメタル系、酸化物系など多種多様な薄膜を高品質に成膜することが可能です。
- クラスターチャンバーによるフルオート搬送が可能です（オプション）。
- MBE412
- MBE412は研究開発から量産試作に適した中型クラスのMBE装置です。
- 4インチ単枚または2インチ3枚のバッチ成長に対応、最大12本までの蒸着源が搭載可能です。
- クラスターチャンバーによるフルオート搬送が標準仕様です。クラスターにはロードロック室、前処理室、ストッカー室が装備され、将来的に成長室を増設し、マルチチャンバー化することが可能です。
- MBE49
- MBE49はパイロット量産から本格量産に適した大型MBE装置です。
- 4インチ4枚または3インチ5枚のバッチ成長に対応、最大12本までの蒸着源が搭載可能です。
- フルオート搬送による自動バッチ処理が標準です。
- As系、P系、窒化物系、酸化物系に対応した専用設計が提案可能です。
- MBE6000
- MBE6000は本格量産に適した大型MBE装置です。
- 6インチ4枚または4インチ9枚のバッチ成長に対応、最大11本までの蒸着源および2本のガスインジェクターが搭載可能です。
- リニアトランスファー方式のフルオート搬送が標準仕様です。
- MBE7000
- MBE7000は本格量産に適した大型MBEです。
- 6インチ7枚または4インチ14枚のバッチ成長に対応、最大13本までの蒸着源および2本のガスインジェクターが搭載可能です。
- リニアトランスファー方式のフルオート搬送が標準仕様です。
- MBE用蒸着源（セル）
蒸着源は、11,000本以上の世界累計納入実績あり。標準Kセルをはじめ、バルブドクラッカーセル、ラジカルセルなどMBE装置に欠かせない各種蒸着源をラインナップしております。
RIBER (リベール)の概要
RIBER社フランス
RIBER社は化合物半導体材料の結晶成長装置（MBE装置）を提供するフランスのメーカーです。GaAsやInP、GaN等の様々な材料向けに研究から量産まで対応した装置を提供しております。また、MBE向け蒸着源も幅広くラインナップしております。
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