伯東株式会社 / 日本

ロールtoロール方式　全自動直描（DI）露光機 Hap8210FX2

 ロールtoロール方式全自動直描（DI）露光機Hap8210FX2は、高性能な露光ヘッドと搬送系、独自のアライメント技術により、高品質、高精度の露光を実現いたします。 2本の基材を搭載可能な独立制御方式を採用することにより搬送やアライメントに要する時間を削減。伯東株式会社の技術力を結集した、高能率・高性能な露光システムです。

【特徴】

・2本の基材を搭載可能な独立制御方式

・4波長LED光源　ソルダーレジスト露光に適用可能

・高い描画位置精度

全自動コンタクト露光機　Hap5025FX2／Hap7020i／STシリーズ

全自動コンタクト露光機は、UV光源、高性能なハンドリングシステムとアライメント機構を有しており、安定的な露光を実現いたします。ロールtoロールに対応可能なHap5025FX2とリジット基板に対応可能なHap7020iがあります。フィルムマスクのスケーリング機能を有したSTシリーズも高い評価を受けています。

【特徴】

・高品位UV平行光

・高精度アライメントシステム

・独自技術による縦型露光システム

・分割露光機能（オプション）

サブストレート投影露光装置（ステッパ―）　LS-360SB

サブストレート投影露光装置LS-360SBは、高品位なUV光源と、非常に高い技術を有した高分解能の投影レンズ、高性能位置決めステージを内蔵したステッパ―露光機です。半導体パッケージ露光の最高技術を結集し、高性能、且つ、高安定性の露光パフォーマンスを提供します。

【特徴】

・高性能投影レンズ搭載

・優れた重ね合わせ精度

・高解像度

・TTL同時アライメント

・フレキシブルスーリング

・オートチルティング

・高スループット