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アグニトロンテクノロジー / アメリカ

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アグニトロンテクノロジー

AGNITRON TECHNOLOGY社は化合物半導体材料のMOCVD装置(有機金属気相成長装置)を提供するアメリカのメーカーです。

As/P系、GaN系,酸化物系(ZnO,Ga2O3,MgZnO等), 遷移金属カルコゲナイド、2D材料等様々な材料向けに研究から量産まで対応した装置を提供しております。独自開発した制御ソフトウエア、In-situモニタへのアップグレード、装置改造、MOCVD装置用メンテ、保守パーツ販売など幅広いソリューションを提供しております。

製品ラインナップ

Agilis 研究開発用 有機金属気相成長(MOCVD)装置

拡張性の高いプラットフォームを有するMOCVD装置。

<特徴>

  • シングル、デュアルチャンバ対応可能
  • 研究開発用、少量生産向け装置
  • リアクタタイプの選択可能
    (Vertical Quartz tube reactor, ステンレスClose Coupled Gas Injector(CCGI) reactor, ステンレスLoadlocked reactor)
  • キャビネットモジュールの選択
  • 拡張性の高いプラットフォーム
  • 独自開発されたIn-situモニターシステム(2波長光源にも対応可)
  • 独自開発した操作性の良いソフトウエア搭載
  • 多様なニーズに対応可能

Agilis 量産用 有機金属気相成長(MOCVD)装置

高品質、高生産性を有するMOCVD装置。

<特徴>

  • エピ成長中の乱流が少なく、良好な均一性が得られるリアクター設計を採用
  • 独自開発されたIn-situモニターシステム(2波長光源にも対応可)
  • メンテナンス性に優れた設計採用
  • 独自開発した操作性の良いソフトウエア搭載
  • 高信頼性を有する自動搬送ロボット採用
  • グローブボックス、ロード、アンチチャンバ
  • 小型成長チャンバから大型チ成長ャンバまで対応可能
  • 高スループット
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電話でのお問い合わせ: 06-6350-8913