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Structured Materials Industries (SMI) (ストラクチャード・マテリアルズ・インダストリーズ) / アメリカ

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Structured Materials Industries (SMI)

SMI社は化合物半導体、透明酸化膜、超伝導膜、ダイアモンド、ナノワイヤ等、様々な複合材料に焦点を当て研究から量産までに対応した結晶装置を提供しております。また同社は、長年培ったMOCVD製造技術を元に、お客様保有のMOCVD装置をIII-V族からII-VI族、酸化膜用ZnOなど、異なる材料系に改造するサービスも行っております。

製品ラインナップ

化合物半導体関連機器

各種材料用結晶膜成長 (MOCVD,CVD,HVPE,ALD等) 装置
(酸化物、III-Vs、II-VIs材料、グラフェン他)

<特徴>
  • カスタムソリューション
  • 多種、多様な装置ラインナップ
  • 基板の高速回転による均一なガスの流れ
  • 独自のシャワーヘッド方式の採用
  • 優れた基板均一性・再現性
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電話でのお問い合わせ: 06-6350-8913