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Structured Materials Industries (SMI) (ストラクチャード・マテリアルズ・インダストリーズ) / アメリカ

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Structured Materials Industries (SMI)

SMI社は化合物半導体、透明酸化膜、超伝導膜等、様々な複合材料に焦点を当て、研究から量産までに対応したMOCVD装置、CVD装置を提供しております。
また同社は、長年培ったMOCVD製造技術を元に、お客様保有のMOCVD装置をIII-V族からII-VI族、酸化膜用ZnOなど、異なる材料系に改造するサービスも行っております。

製品ラインナップ

化合物半導体関連機器

酸化物用結晶膜成長 (CVD) 装置
(ZnO,Ga2O3 他)

<特徴>
  • 基板の高速回転による均一なガスの流れ
  • 独自のシャワーヘッド方式の採用
  • 優れた基板均一性・再現性
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電話でのお問い合わせ: 06-6350-8913