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SENTECH Instruments GmbH (センテック) / ドイツ

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SENTECH Instruments GmbH

センテック社は、膜厚計 (光干渉式、レーザーエリプソメーター、分光エリプソメーター) を取り扱っているメーカーです。特に太陽電池市場においては、テクスチャー形成表面上の膜厚測定を可能にし、世界各国に計160台以上の納入実績がございます。

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Plasma Etching Systems / プラズマエッチング装置

ICP-RIE plasma etcher SI500

  • Low damage for nano structuring
    ICPプラズマ採用による、低ダメージでのエッチングを達成、ナノ製品加工に適応可能
  • Simple high rate etching
    高アスペクト比のMEMS加工でも低温プロセスによる加工が可能です。またスムーズな側壁加工用としてクライオエッチングも適応可能
  • In-house ICP plasma source
    オリジナルデザインのPTSA (Planar Triple Spiral Antenna) ソースによる、ハイエンドなプラズマプロセスを実現、チャンバー内の均一で安定なイオンエネルギーを制御できます。
  • Dynamic temperature control
    ヘリウムガスを使用した下部電極の緻密な温度制御はワイドレンジでの温度制御が可能です。
※主な仕様:最大200㎜ウェハー搭載可, ロードロック対応, クラスター対応, アプリケーション:化合物デバイス、(GaAs,InP,GaN,InSb)絶縁膜,石英,ガラス,シリコン,シリコン化合物(SiC,SiGe)等

RIE plasma etcher Etchlab 200

  • Cost-effectiveness/Upgradeability
    平行平板型RIE、ベーシック機、研究開発用途の廉価モデル、
    Small footprint
※主な仕様:最大200㎜ウェハー搭載可、In-Situエリプソメーター用ポート追加可

 

 

 

RIE plasma etcher S591 compact

  • Process flexibility
    塩素、フッ素系ガスに対応する多様なエッチングプロセスに適応可能
  • Small footprint and high modularity
    シングルチャンバー、クラスターツール対応
  • SENTECH control software
    User-friendly powerful software with mimic GUI, parameter window, recipe editor, data logging, and user management

PECVD Systems / プラズマCVD装置

ICP plasma deposition system SI500D

  • Exceptional high density plasma
    高いプラズマ密度、低イオンエネルギによる低ダメージ絶縁膜形成
  • Planar ICP plasma source
    オリジナルPlanar Triple Spiral Antenna(PTSA) ICP plasma source は低パワーで高密度のプラズマの制御が可能
※主な仕様:最大200㎜ウェハー搭載可、真空ロードロック機構、下部電極の温度制御RT to 350℃、レーザーエンドポイントディテクション機能

 

 

PECVDP plasma deposition system Depolab200

  • Cost-effectiveness/Upgradeability
    平行平板プラズマソース、ベーシック機、研究開発用途の廉価モデル、
    Small footprint
※主な仕様:2~8インチウェハー、SiO2、SiNx、SiONx、a-Si film等、
電極温度Max400度

 

 

Atomic Layer Deposition Systems / ALD原子層堆積装置

SI ALD / SI ALDLL

  • PEALD for sensitive substrates
    加熱及びプラズマエンハンス方式の選択が可能 / 低温プロセス&不純物混在の低減完全リモートプラズマ / 高被覆性コーティング、高アスペクト比、ピンホールとパーティクルフリーな成膜が可能
    In-Situ診断機能 SENTECH社オリジナルのエリプソメータ搭載機能
※主な仕様:2~8インチウェハー、ロードロック機構、リフティングリアクター機構、グローブBOX接続

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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電話でのお問い合わせ: 03-3225-8083