ホーム > 製品情報 > 電子・電気機器 > SENTECH Instruments GmbH (センテック) / ドイツ

SENTECH Instruments GmbH (センテック) / ドイツ

詳細はこちら
SENTECH Instruments GmbH

センテック社は、膜厚計 (光干渉式、レーザーエリプソメーター、分光エリプソメーター) を取り扱っているメーカーです。特に太陽電池市場においては、テクスチャー形成表面上の膜厚測定を可能にし、世界各国に計160台以上の納入実績がございます。

製品ラインナップ     プラズマ製品案内サイト

分光エリプソメーター     SENTECH lab開設のご案内

SENreserch シリーズ

  • R&D用途として様々な拡張オプションを提供できます。
  • ハイエンド機種では測定スペクトル(190nm-3500nm)を一台の機種で対応可能です。
  • FTIRの採用でNIR-3500nm領域の分光スペクトルを、高速且つ高精度な測定を可能と致します。
  • 専用ソフトSpectraRay/3、並びにStep Scan Analyzer による測定解析手法はエリプソメトリによる解析を最適なものと致します。

 

SENreserch ファミリー(PDF)

 

 

 

 

 

 

SENpro(廉価版モデル)

  • マニュアルゴニオメーター搭載(40-90°5°ステップ)
  • 測定スペクトル:370nm~1050nm
  • 専用ソフトSpectraRay/3、並びにStep Scan Analyzer による測定解析手法はエリプソメトリによる解析を最適なものと致します。

 

 

 

SENDIRA(赤外分光エリプソメーター)

  • 赤外スペクトラム領域での薄膜フィルム材料の膜厚、屈折率測定はもとより、材料固有の分子振動の吸収バンド領域よりの吸収係数、薄膜材料組成比、構造分析、キャリア濃度分布等も可能。
  • 赤外FTIR測定機能との合体で、400 cm-1 to 6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)領域の分析が可能、センサーはDTGS、 MCTの切替が可能。

 

 

 

SENDURO(品質管理用途)

  • 自動搬送、Autoアライメント機能が選択可
  • 100~300㎜ウェハー対応
  • 最少測定エリア50μm(干渉計搭載時)
  • 多点測定マッピング機能

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

レーザーエリプソメーター

SE400adv、SE500adv

  • 632.7nm He-Neレーザーを採用
  • 測定時間:120nm~1.5S
  • 膜厚測定範囲:表面平坦時1nm~40,000nm
  • 測定精度:表面平坦時Ψ/0.02°、Δ/0.04°
  • 再現性(1σ):平面平坦時 膜厚/0.01nm、屈折率/0.0005
  • マニュアルゴニオメーター:範囲:40-90°、5°step
  • 干渉計FTP搭載(SE500advのみ)

 

光干渉計膜厚

RM 1000 430 nm – 930 nm

RM 2000 200 nm – 930 nm

  • サンプル高さ、傾き調整機能付き
  • 測定スポット:最少50μm~
  • 微小サンプル-200㎜ウェハー
  • 膜厚レンジ:20nm~50μm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

FTPadv-1(顕微鏡搭載型)

FTPadv-2

  • 測定スポット:4㎜~
  • 測定時間:100ms以内
  • 測定分解能:0.3nm(膜厚)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

FTPadv Expert

  • 膜厚及び光学定数(屈折率、吸収係数)の測定用ソフトウェアーパッケージ

 

 

 

 

太陽電池用セル基板対応モデル

SE400advPV(レーザーエリプソメーター)

SE800advPV(分光エリプソメーター)

  • 業界標準器として市場に400台以上の実績
  • 単結晶、多結晶基板PVセルに於いてテクスチャー構造上のARC膜の膜厚、屈折率測定が可能
  • 高感度センサーにより、極めて低いノイズ比率でのスペクトル分析を実現。
  • 多層膜にも対応、測定事例 SiO2 / SiNx, Al2O3 / SiNx ,SiNx1 / SiNx2

 

SENTECH膜厚計ラインナップ(PDF)

 

 

 

 

 

 

Nreserch Spectral Range
NIR-extension by FTIR spectrometer

 

SENpro(廉価版モデル)

 

SENDIRA(赤外分光エリプソメーター)

 

SENDURO300 C to Cモデル

                 マッピング機能

 

 

 

 

SE400adv レーザーエリプソメーター

 

 

 

 

                 FTPadv-1
FTPadv-2

 

 

 

 

PVセルテクスチャー構造
SE800PVモデル
txt_contact.gif
btn_contact_mail_off.gif
電話でのお問い合わせ: 03-3225-8083