半導体製造関連機器
半導体プロセス装置
アクアサイエンス |
超高濃度オゾン水併用HDIレジスト剥離装置:
Aurora 蒸気水レジスト・ポリマー剥離装置: Triton |
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セントロサームサーマルソリューションズ |
高温活性化アニール炉
"Activator150" 真空はんだ付装置 "VLOシリーズ" 高温酸化炉 "Oxidator150" 大量生産向け複合加熱炉 "verticoo200" |
谷電機工業株式会社 | ウエハバンプ形成用印刷装置 |
ピーブイエーテプラ |
プラズマシステム/Plasma
system バッチプロセスシステム/Batch process system |
半導体評価装置
センテック インスツルメンツ |
光干渉式膜厚計 レーザーエリプソメーター 分光エリプソメーター |
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セラドン システムズ |
X線観察装置 インラインX線検査装置 |
ピーブイエーテプラ | [SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization) |
温度環境試験装置
インテストサーマルソリューションズ |
超高速温度環境試験機サーモストリーム:
Temptronic 恒温槽: Sigma system 温調プレート: Sigma systems 接触型温度環境試験装置: Temptronic プロセスチラー: Thermonics |
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