半導体製造関連機器
半導体プロセス装置
| プラズマサーモ | VERSALINE (R&D～量産) Mask Etcher (生産) LAPECVD (量産) 790+(R&D) |
|---|---|
| ディーエスジー | マイクロ波アニール装置 AXOM150/300 (バッチタイプ装置) |
| アクアサイエンス | 超高濃度オゾン水併用HDIレジスト剥離装置: Aurora 蒸気水レジスト・ポリマー剥離装置: Triton |
| ジェー・ピー・サーセルアソシエイツ | IX-200: 研究開発向け小型機 IX-6600: 量産向け大型機(ウエハ自動搬送搭載可) PV-5000: PV向けスクライビング装置 ビームデリバリー・光学部品 ジョブショップサービス |
| セントロサームサーマルソリューションズ | 高温活性化アニール炉 "Activator150" 真空はんだ付装置 "VLOシリーズ" 高温酸化炉 "Oxidator150" 大量生産向け複合加熱炉 "verticoo200" |
| エルフォテック | 高性能微細加工用サンドブラスト装置 |
| エリコンバルザ-ス | スパッタリング蒸着装置 (バッチ式、枚葉式) |
| リベール | R&D用MBE装置 パイロットライン用MBE装置 量産用MBE装置 |
| ナノグリーンテクノロジー | パーティクル洗浄用クラスター機能水供給装置CCS-1000 |
半導体評価装置
| アイビット | X線観察装置 インラインX線検査装置 |
|---|---|
| センテック | 光干渉式膜厚計 レーザーエリプソメーター 分光エリプソメーター |
| セラドン システムズ | X線観察装置 インラインX線検査装置 |
| ピーブイエーテプラ | [TWIN Model SC-4] (TWIN: Thermal Wave Inspection) [SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization) |
| トプコンテクノハウス | 表面検査装置 |
