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半導体製造関連機器

半導体プロセス装置

ディーエスジー マイクロ波アニール装置 AXOM150/300 (バッチタイプ装置)
アクアサイエンス 超高濃度オゾン水併用HDIレジスト剥離装置: Aurora
蒸気水レジスト・ポリマー剥離装置: Triton
アイピージー フォトニクス IX-200: 研究開発向け小型機
IX-6600: 量産向け大型機(ウエハ自動搬送搭載可)
PV-5000: PV向けスクライビング装置
ビームデリバリー・光学部品
ジョブショップサービス
セントロサームサーマルソリューションズ 高温活性化アニール炉 "Activator150"
真空はんだ付装置 "VLOシリーズ"
高温酸化炉 "Oxidator150"
大量生産向け複合加熱炉 "verticoo200"
谷電機工業株式会社 ウエハバンプ形成用印刷装置
センテック プラズマエッチング装置
プラズマCVD装置
ALD原子層堆積装置
ピーブイエーテプラ プラズマシステム/Plasma system
バッチプロセスシステム/Batch process system

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半導体評価装置

センテック 光干渉式膜厚計
レーザーエリプソメーター
分光エリプソメーター
セラドン システムズ X線観察装置
インラインX線検査装置
ピーブイエーテプラ [TWIN Model SC-4] (TWIN: Thermal Wave Inspection)
[SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization)

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温度環境試験装置

インテストサーマルソリューションズ 超高速温度環境試験機サーモストリーム: Temptronic
恒温槽: Sigma system
温調プレート: Sigma systems
接触型温度環境試験装置: Temptronic
プロセスチラー: Thermonics

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校正用スタンダード

プロセス スペシャルティーズ 二酸化シリコン薄膜標準ウエハ (ウエハサイズ150、200、300mm)
窒化シリコン薄膜標準ウエハ (ウエハサイズ150、200、300mm)

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パワーデバイス用Sintering装置

谷電機工業株式会社 卓上機 HTM-1000
標準機 HTM-3000
量産機 HTM-HV(量産機、少量多品種機)

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