[SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization) は、偏光された光が、ストレスを受けたサンプルの光弾性効果により生じた複屈折のエリアを通過する際の、偏光状態変化を利用し、サンプルのストレスフィールドモニタリングを実現します。ウェハの製造工程で生じたストレスや、高温プロセス時のウェハに生じた欠陥をモニタリング可能です。