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PVAテプラ / ドイツ

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PVAテプラ 

PVA Tepla AGは重要な製造プロセスと技術開発を経験とノウハウを生かし、長年サポートしてきました。当初は、半導体、硬質合金、電気 / 電子、そして光産業でしたが、将来の注目分野であるエネルギー、太陽光発電、そして環境技術までも対象としてきました。あらゆる分野の真のマーケットリーダーを目指して、立ち止まることのない未来に向けて進化を続けていきます。

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半導体評価装置

[SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization) は、偏光された光が、ストレスを受けたサンプルの光弾性効果により生じた複屈折のエリアを通過する際の、偏光状態変化を利用し、サンプルのストレスフィールドモニタリングを実現します。ウェハの製造工程で生じたストレスや、高温プロセス時のウェハに生じた欠陥をモニタリング可能です。

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