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PVAテプラ / ドイツ

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PVAテプラ

独PVA TePla は、結晶成長システム、プラズマシステムを主に扱い、結晶成長システムにおいては、150年以上にわたる歴史と技術をもつ製造装置メーカーです。同社の装置は、半導体デバイスをはじめ、FPD、太陽電池など、様々な分野を対象に導入されています。

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半導体評価装置

[TWIN Model SC-4] (TWIN: Thermal WaveInspection) は、フォトサーマルヘテロダイン干渉法により、非破壊・非接触でのドーズ量モニタリングを可能にします。ウェハ内部に注入されたイオンの層をダメージとして測定し、ドーズ量との比較を行うことで、イオン注入プロセスのモニタリングおよび管理が可能となります。

[SIRD A300] (SIRD: Scanning InflaRed Depolarization) は、偏光された光が、ストレスを受けたサンプルの光弾性効果により生じた複屈折のエリアを通過する際の、偏光状態変化を利用し、サンプルのストレスフィールドモニタリングを実現します。ウェハの製造工程で生じたストレスや、高温プロセス時のウェハに生じた欠陥をモニタリング可能です。

TWIN
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SIRD
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電話でのお問い合わせ: 03-3225-8073