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centrotherm thermal solutions
(セントロサーム サーマル ソリューションズ)
/ ドイツ

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centrotherm thermal solutions

centrotherm thermal solutionsは、太陽電池業界を牽引する世界有数のグループcentrotherm photovoltaics AGの一部です。
太陽電池、半導体、ナノテクノロジー業界大手企業、また国際的な研究機関に対して、最新技術を集結させた装置を提供しています。

製品ラインナップ

半導体プロセス装置

高温活性化アニール炉 "Activator150"

"Activator150"は、シリコンカーバイド (SiC)、窒化ガリウム (GaN) におけるイオン注入後の活性化熱処理向けに開発されました。研究開発 (R&D) から大量生産にまで対応可能です。金属汚染のない独特な抵抗加熱方式により、1,850℃までの加熱とバッチ処理に適したれた均熱特性を実現します。

高温酸化炉 "Oxidator150"

セントロサーム社のサーマル技術を適用したシリコンカーバイド (SiC) の酸化プロセス向けに設計された高温酸化炉です。特長として1,400℃までの高温加熱と様々な酸化ガス (O2、N2O、NO、NO2、WetOx) が使用できることが挙げられます。金属汚染もなく、且つ2重真空チューブを備えており ます。また、有毒ガス使用にも対応が可能です。

大量生産向け複合加熱炉 "verticoo200"

高生産性と高い柔軟性を兼ね備えております。常圧プラズマ、低圧プラズマにも対応可能です。デュアルボート搬送によるシングルチューブ式の採用により、処理時間の短縮だけでなく、低コストオブオーナーシップをも可能にします。

半導体プロセス装置、実装基板関連機器

真空はんだ付装置 "VLOシリーズ"

"VLOシリーズ"は、製品開発~大量生産仕様まで対応可能であり、先端パッケージやパワー半導体業界の高度な要求にも対応可能です。フラックスレス、ボイドレス、ウルトラクリーンなはんだ付けを実現します。還元方式も、フォーミングガス (N2=95%/H2=5%) や100%水素 (H2) のガス還元、蟻酸 (HCOOH) を用いたウェットケミカル還元が選択可能です。

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電話でのお問い合わせ: 03-3225-8073