自社で製造する拡散炉・PE-CVD・焼成炉・乾燥炉と、グループ会社より調達する製品を組み合わせる事により、結晶系太陽電池セルのターンキーソリューションを提供することを可能にします。

高スループット、低コストオブオーナーシップを兼ね備えたセントロサーム社の拡散炉は、結晶系太陽電池の生産工程における高い要求にお応えできます。石英 チューブにより、高エミッタ抵抗、高品質な拡散プロセスを実現し、効率の向上にもつながります。更に、大量生産向け装置においては、R&D用途への汎用も可能です。

太陽電池製造工程におけるキーポイントである反射防止膜向けに、セントロサーム社PE-CVD装置 (シリコンナイトライド堆積) を提案致します。高い汎用性、低コストオブオーナーシップ、ショートダウンタイムを実現しており、連続生産に最適です。その上、様々なプロセスに柔軟に対応可能であり、研究開発用途にもご使用いただけます。

セントロサーム社の焼成炉は、太陽電地の金属電極焼結において、シリコンとの良好な接続を可能にします。コンベア式焼成炉の特長として、高スループット、低コストオブオーナーシップがございます。高速ベルト方式と長時間焼成により、ショートサイクルタイムと有機物完全除去を実現致します。その上、高速乾燥機との連結により、通常、必要とされる搬送工程を省くことが可能です。

セントロサーム社の乾燥炉は、太陽電池の大量生産工程におけるウェハ上の金属電極乾燥向けに設計されました。コンベア式乾燥炉の特長として、スループットに秀でており、一方、モジュール設計により最適なドライプロセスを保証致します。オプションで、排出ガスクリーニング装置も選択できます。

シリコンインゴット製造施設、結晶系太陽電池モジュール ターンキーソリューション (単結晶/多結晶)

"Activator150"は、シリコンカーバイド (SiC)、窒化ガリウム (GaN) におけるイオン注入後の活性化熱処理向けに開発されました。研究開発 (R&D) から大量生産にまで対応可能です。金属汚染のない独特な抵抗加熱方式により、1,850℃までの加熱とバッチ処理に適したれた均熱特性を実現します。

セントロサーム社のサーマル技術を適用したシリコンカーバイド (SiC) の酸化プロセス向けに設計された高温酸化炉です。特長として1,400℃までの高温加熱と様々な酸化ガス (O₂、N₂O、NO、NO₂、WetOx) が使用できることが挙げられます。金属汚染もなく、且つ2重真空チューブを備えており ます。また、有毒ガス使用にも対応が可能です。

高生産性と高い柔軟性を兼ね備えております。常圧プラズマ、低圧プラズマにも対応可能です。デュアルボート搬送によるシングルチューブ式の採用により、処理時間の短縮だけでなく、低コストオブオーナーシップをも可能にします。

"VLOシリーズ"は、製品開発～大量生産仕様まで対応可能であり、先端パッケージやパワー半導体業界の高度な要求にも対応可能です。フラックスレス、ボイドレス、ウルトラクリーンなはんだ付けを実現します。還元方式も、フォーミングガス (N₂=95%/H₂=5%) や100%水素 (H₂) のガス還元、蟻酸 (HCOOH) を用いたウェットケミカル還元が選択可能です。