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ブルックスオートメーション / アメリカ

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Brooks Automation社製のPolycoldはパテントをもつ自己制御型カスケードタイプの冷凍機で、市場では最も高く評価されています。この最新式の技術を応用した冷凍機は半導体、光通信、フラットパネルから航空・宇宙産業、天体望遠鏡、研究機器の検知器の冷却やフィルム、装飾、光学コーティングに至るまでさまざまな分野で利用されています。

製品ラインナップ

冷却装置

MaxCool , PFC ウォータベーパクライオポンプ

特長

  • 排気時間を、25%~75%短縮
  • 水に対する排気速度 : 50,000 ~220,000 L/S
  • 最大許容負荷 : 4,000W
  • 急速デフロスト機構を装備
  • オゾン層破壊係数0
    オゾン層を破壊しないHFC新冷媒(特許保有)を使用

主な用途: 蒸着、スパッター、EBW、溶解炉、ウェハーの冷却等

PGC Gas Chillerガスチラー

特長

  • 常温のドライガスを-75~-125℃まで冷却
  • ガス流量、80~330ℓ/m (Max750SCFH)
  • 冷凍能力810W
  • CEマーク、SemiS2準拠
  • 水冷/空冷式

主な用途: 分析装置、ウェハーの冷却、低温治療器等

PCC Compact Cooler小型冷凍機

特長

  • コールドエンドに摺動部がないため超低振動
  • 取り付け方向の制約なし
  • 炭化水素系冷媒を使用
  • 冷却温度~203℃
  • 小型、低価格
  • CEマーク準拠

主な用途: 検知器CCDの冷却、試料の冷却詳しくはこちら
http://www.hakuto-vacuum.jp/helix_polycold/index.php

MaxCool ウォータベーパクライオポンプ
MaxCool ウォータベーパクライオポンプ
PFC ウォータベーパクライオポンプ
PFC ウォータベーパクライオポンプ
PGC ガスチラー
PGC ガスチラー
PCC Compact Cooler 小型冷凍機
PCC Compact Cooler 小型冷凍機
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電話でのお問い合わせ: 03-3225-8967