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NUシステム株式会社 / 日本

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NUシステム株式会社は、文部科学省 愛知・名古屋地域知的クラスター創成事業において共同研究を行っていた、名古屋大学大学院工学研究科の堀勝教授と西澤典彦助教授(現 教授)および和歌山大学システム工学部伊藤昌文教授(現 名城大学理工学部教授)の研究成果を基に創設されました。具体的には、レーザーやプラズマを光源に用いた気体、液体、および固体の多元素瞬時光計測技術・分析技術等を活かした計測装置の開発、設計、製造を通して、先端半導体デバイス産業、環境産業および健康医療産業へ事業展開を進めております。

製品ラインナップ

ラジカル測定用モニター

最先端のプラズマプロセスには、表面反応を理解する必要があります。プラズマ技術を用いて行うエッチング・表面処理・薄膜作成プロセスにおいて、プロセスに重要な役割を果たす各種原子状ラジカルの絶対密度を計測する事が必要不可欠です。プロセスへのフィードバックを可能とした、世界初のプロセスで使えるモニタリング装置です。

超高密度室温大気圧プラズマ装置

大気圧下でプラズマを発生させる、小型非平衡大気圧プラズマ装置です。AC100Vで駆動させることができる非常に簡便な取扱い性と、微小スポットながら1015個/cm³という高密度プラズマ生成を可能にした装置です。

基板温度モニター

プラズマプロセスをはじめとする加工・成膜などの製造プロセスを高精度に制御する事が必要不可欠です。重要なプロセス条件である基板温度を非接触で正確に高速計測が可能な光モニタリングシステムです。

 
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電話でのお問い合わせ: 03-3225-8073