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お知らせ

2018年11月28日

セミコン・ジャパン2018 出展のお知らせ

会 期 : 2018年12月12日(水) ~ 14日(金)

 

展示会開催時間 : 3日間共通10:00~17:00

 

会 場 : 東京ビッグサイト 東ホール2

 

小間番号 : 2708

 

展示品:

<Pfeiffer Vacuum社>

 ・ ターボ分子ポンプ
 ・ ドライポンプ
 ・ ヘリウムリークディテクター

<centrotherm international AG>

 ・ SiC高温アニール炉
 ・ 汎用型バッチ式熱処理炉

<SENTECH Instruments GmbH>

 ・ ALD(原子層堆積装置)
 ・ 搬送機構付分光エリプソメーター(薄膜測定装置)

<PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH>

 ・ ウェーハ内部応力モニタ装置
 ・ マイクロウェーブプラズマ装置

<CREA Japan K.K>

 ・ 量産用パワーデバイスAC/DCフルパワー特性自動検査装置

<SEMICAT>

 ・ 再生スパッタ装置

 

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