マイクロマシン/MEMS展出展のご案内
<展示ブース>E-05
<期間>7/28-30
<出展製品>
Oerlikon Balzers社(スイス)
スパッタ装置
PLASMA-THERM LLC社製(米国)
ドライエッチング装置
アクアサイエンス社(日本)
レジスト・ポリマー剥離装置
Vistec Lithography社(米国)
電子ビーム描画装置
Temptronic社(米国)
超高速温度環境試験装置
JPSA社(米国)
レーザースクライビング、レーザーリフトオフ装置
伯東(日本)
イオンミリング装置
ライカマイクロシステムズ社(ドイツ)
デジタルマイクロスコープ
エスアイアイ・ナノテクノロジー社(日本)
小型プローブ顕微鏡