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お知らせ

2009/10/02

線幅15nmのナノパターンを直接描画
米ナノインク社製 ディップペン・ナノリソグラフィー・システムの販売を開始-

当社の電子機器第一事業部は、米ナノインク社 (URL: http://www.nanoink.net) と日本国内とアジア地域 (シンガポール、マレーシア、タイ、ベトナム) の販売代理店契約を締結し、半導体分野やバイオ分野をターゲットに、ディップペン・ナノリソグラフィー・システムの販売を展開していきます。

■Dip Pen Nanolithography (DPN) とは?
Dip Pen Nanolithography (以下DPN) は、原子間力顕微鏡 (AFM) のプローブをペンのように用いて、様々な分子をインクとして使用し、安定したナノスケールのパターンをサンプル基板上に描画する事ができる技術です。
DPNは多種多様な素材をインクとして使用し、数ミクロンから15ナノメートルの解像度を実現できるため、様々なアプリケーションでの応用が期待できます。
半導体分野においては、レジスト材をインクとして、線幅ナノメートルオーダーの回路パターンを基板上に直接描画したり、フォトマスクの修正に応用が期待されます。
バイオ分野では、タンパク質をナノメートル間隔で配置させたテンプレートの作成や、ナノ粒子を付着させた3次元ナノ構造体を作成するなどのナノファブリケーション用ツールとして活用できます。

■主な用途
・半導体、ディスプレイのパターニング
・フォトマスクの修正
・ナノスケールのテンプレートの作成

■DPNの特長
・最小線幅 15ナノメートル
・様々な素材をインクとして使用可能。
(例: DNA、プロテイン、ポリマー、レジスト、ポリマー、メタル 等)
・環境チャンバー付き
・描画データフォーマット対応 (GDS2)

■ナノインク社概要
ナノインク社は、ライフサイエンスや半導体産業に向けた、ナノメートルオーダーの製造とアプリケーションを専門に技術開発を進めているシカゴの企業です。現在100以上の有効特許、審査中特許、申請中特許を保有し、ノースウエスタン大学、スタンフォード大学、イリノイ大学とライセンス契約を結んでいます。

■展示会出展のお知らせ
11月のマイクロマシン展、12月のセミコンジャパン、’07年2月のナノテク展などにパネル展示します。

お問い合せ先
部署名: 電子機器第一事業部 営業一部
Tel: 03-3225-8973
担当者: 田中、三好、毛利
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