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お知らせ

2009/09/19

テクニカルセミナー開催のご案内【無料】 -45nmノード以降のデバイス向けの新概念の洗浄方法-

デバイスメーカー、フォトマスクメーカー、FPDメーカーの方々を対象に、45nmノード以降のデバイスに向けたクラスター化した超純水による新しい洗浄方法の技術セミナーを、新宿住友ビルにて開催致します。
定員になり次第受付けを締め切らせて頂きますので、下記内容をご確認の上、ご興味ある方はお早めにお申込頂きますようお願い致します。
皆様のご参加を心よりお待ちしております。

【講演内容】
SC-1に代わる画期的特許のクラスター化した超純水による新しい洗浄の原理と運用方法
ナノグリーンテクノロジー社のCCS1000を用いた洗浄工程は、クラスター化した超純水を洗浄装置に送り、そのクラスターがパーティクルを吸着し包み込み、同時に酸化膜の表面粗も改善し、パーティクルを完全に除去出来る仕組みの為、次世代デバイスの微細パターンの損傷と崩壊を引起さない洗浄が可能となり、45nmノード以降のデバイスの洗浄の効率化と歩留りの向上に大きく貢献します。
化学薬品を使用しない洗浄方法なので、SC-1と比べランニングコストと環境負荷を低減できるというメリットがあります。
今回ご紹介するナノグリーンテクノロジー (NGT) 社製品は、既に欧州最先端デバイスメーカにて評価が完了し、2007年1月から納入が開始されます。
○NGT社製品情報のリリースはこちら>>
○NGT製品の詳細はこちら (英語) >>

【講師のご紹介】
米国ナノグリーンテクノロジー社 社長・CEO スラージ・プーリ博士
経歴: IBM,フェアチャイルド、AMD等で39年間半導体プロセスの最先端の研究開発に携わった経験を通じ、42件の特許を保有されています。

【セミナー日時、会場】
日時: 2006年10月17日 (火) 13:00~17:00 *受付は12時正午より開始。
会場: 新宿住友ビル47階 住友スカイルーム 部屋N0.8
        東京都新宿区西新宿2-6-1 [地図]
定員: 60名 *定員に達し次第、締切らせていただきます。
参加料: 無料
講義形式: 逐次通訳付き
受講対象: デバイスメーカー、フォトマスクメーカー、FPDメーカーの方々

【申し込み方法】
1. FAXでお申し込みの場合
PDFファイルの参加申込書をご利用下さい。[申込書]
2. 当社HPからお申し込みの場合
お問い合わせ「その他のお問い合わせ」のフォームをご利用下さい。その際、お問い合わせ内容欄に「NGT社セミナー参加希望」とご記入下さい。

お問合せ先
伯東株式会社 電子機器第一事業部 営業四部
TEL: 03-3225-8079 FAX: 03-3225-3414
担当者: 三浦、石山、厚木、渡辺